SS101वेफर-स्तर वितरण मशीन
वेफर के रूप में अंडरफिल के लिए
SS101 एक उच्च स्थिर और सटीक वेफर स्तर वितरण प्रणाली है जिसे आरडीएल फर्स्ट डब्ल्यूएलपी की अंडर फिल प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर विकसित किया गया है।
यह उपकरण अर्धचालक उद्योग की जरूरतों को पूरा करता है, एक स्वचालित वेफर लोडिंग और अनलोडिंग प्रणाली के साथ प्रदान किया जा सकता है, और स्वचालित रूप से वेफर हैंडलिंग जैसे कार्यों को महसूस कर सकता है,संरेखणयह अंतरराष्ट्रीय अर्धचालक संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है,और एक एएमएचएस स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग रोबोट इंटरफ़ेस के साथ प्रदान किया जाता है
सूचना प्रबंधन आवश्यकताएं और मानव रहित प्रबंधन के रुझान।
SS101 सिस्टम लेआउट
लोडपोर्ट और फोप
संरेखक
क्यूआर कोड स्कैनिंग स्टेशन
पूर्व ताप स्टेशन
️गर्मी फैलाव स्टेशन
¥GS600SWA डिस्पेंसर मशीन का कार्य स्टेशन ¥GS600SWB डिस्पेंसर मशीन का कार्य स्टेशन
रोबोट हैंडलिंग मॉड्यूल
SS101 वेफर-लेवल डिस्पेंसर सिस्टम की संरचना
GS600SW वेफर स्तर की डिस्पेंसर मशीन × 2
PC101 वेफर लोडिंग और अनलोडिंग मशीन × 1
अनुप्रयोग क्षेत्र
आरडीएल प्रथम डब्लूएलपी
सीयूएफ अनुप्रयोग
SS101 वेफर-स्तर वितरण ऑपरेशन प्रवाह
विशेषताएं और लाभ
8/12 इंच के वेफर वितरण का समर्थन करता है।
धूल प्रतिरोधी स्तर 10, वेफर्स स्तर के पैकेजिंग की पर्यावरणीय आवश्यकताओं को पूरा करता है।
ईएसडी सुरक्षा अंतरराष्ट्रीय आईईसी और एएनएसआई मानकों को पूरा करती है।
वेफर्स के कारोबार और संचालन की पूरी प्रक्रिया में, उत्पाद की सुरक्षा सुनिश्चित करते हुए CUF प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए तापमान को बारीकी से नियंत्रित और स्वचालित रूप से सही किया जाता है।
पूरी प्रक्रिया की वीडियो निगरानी उत्पाद कारोबार, संचालन प्रक्रिया अवलोकन और समस्या का पता लगाने और विश्लेषण करने में सुविधा प्रदान करती है
तकनीकी विनिर्देश
SS101 प्रणाली
GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 वेफर हैंडलिंग मशीन * 1 (EFEM)
अनुप्रयोग क्षेत्र
आरडीएल पहला डब्ल्यूएलपी, सीयूएफएप्लीकेशन
स्वच्छता स्तर
कार्यक्षेत्र की स्वच्छता
वर्ग 100 (वर्ग 1000 कार्यशाला)
कक्षा 10 (वर्ग 100 कार्यशाला)
उत्पाद अनुप्रयोग क्षेत्र
वेफर के आकार के लिए समर्थन
φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm
(मानक मॉडल केवल 12-इंच के वेफर्स का समर्थन करता है)
वेफर की मोटाई के लिए समर्थन
300-2550μm
अनुमेय वेफर अधिकतम warpage रेंज
GS600DD पूर्ण स्वचालित डिस्पेंसर मशीन
डैम और फिल के लिए
जीएस600डीडी पूर्ण स्वचालित वितरण मशीन उच्च स्थिरता और उच्च परिशुद्धता वाले वितरण उपकरण का एक टुकड़ा है जो एफसीबीजीए आदि की डैम एंड फिल प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर विकसित किया गया है।उपकरण अर्धचालक उद्योग की जरूरतों को पूरा करता हैयह एक स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग प्रणाली से लैस है, और मैगज़ीन लोडिंग और अनलोडिंग, डैम गोंद-जेटिंग और अंडरफिल गोंद-जेटिंग के कार्यों को स्वचालित रूप से महसूस कर सकता है।यह अंतरराष्ट्रीय अर्धचालक संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है।, और सूचना प्रबंधन की आवश्यकताओं और मानव रहित प्रबंधन के रुझानों से मेल खाता है।
प्रणाली संरचना
GS600DD पूरी तरह से स्वचालित डिस्पेंसर × 1 मैगज़ीन स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग मशीन × 1
ऑपरेशन प्रवाह
मैगज़ीन लोड करना-डैम गोंद-जेटिंग-अंडरफिल गोंद-जेटिंग-मैगज़ीन अनलोडिंग
विशेषताएं और लाभ
उच्च गति वाले उपकरण संचालन के कारण प्रभाव को प्रभावी ढंग से कम करने के लिए खनिज फ्रेम संरचना के साथ अच्छा झटके अवशोषण।
अपर्याप्त मात्रा में गोंद के कारण उत्पाद के नुकसान से बचने के लिए कैपेसिटिव डिटेक्शन और लेजर इंडक्शन डिटेक्शन
धूल प्रतिरोधी स्तर 10, पैकेजिंग वातावरण की आवश्यकताओं को पूरा करता है।
डिस्पेंसर की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए स्वचालित डिस्पेंसर स्थिति मुआवजा समारोह
ईएसडी सुरक्षा अंतरराष्ट्रीय आईईसी और एएनएसआई मानकों को पूरा करती है।
खराब वितरण के कारण प्रक्रिया जोखिमों से बचने के लिए गोंद चौड़ाई का पता लगाने का कार्य।
तकनीकी विनिर्देश
मॉडल GS600DD
प्रणाली संरचना
GS600DD * 1,मैगज़ीन स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग मशीन * 1
अनुप्रयोग क्षेत्र
एफसीबीजीए,वायर बॉन्डिंग इनकैप्सुलेशन
स्वच्छता स्तर
कार्यक्षेत्र की स्वच्छता
कक्षा 100 (वर्ग 1000 कार्यशाला) कक्षा 10 (वर्ग 100 कार्यशाला)
ट्रांसमिशन सिस्टम
आयाम
770×1650×2100 मिमी
ट्रांसमिशन सिस्टम
एक्स/वाईःरेखागत मोटर Z:सर्वो मोटर&स्क्रू मॉड्यूल
पुनरावृत्ति (3 सिग्मा)
X/Y: ±5 μm Z: ±10 μm
स्थिति की सटीकता (3 सिग्मा)
X/Y: ±10 μm Z: ±25 μm
अधिकतम गति
X/Y:1300mm/s Z: 500mm/s
अधिकतम त्वरण वेग
एक्स/वाई:1.3g Z:0.5g
डिस्पेंसर रेंज
355mm × 595mm
ग्रिटिंग रिज़ॉल्यूशन
1 μm
विजुअल पुनरावर्ती मिलान सटीकता
5μm
चिपकने वाला एकल बिंदु स्थिति सटीकता
≤±30 μm
Z अक्ष ऊंचाई कैलिब्रेशन और मुआवजा विधि
लेजर सेंसर
लेजर सेंसर की सटीकता
±1 μm
Z अक्ष स्पेक्ट्रम
असिंक्रोनस डबल-हेड
लागू सिरिंज प्रकार
5cc, 10cc, 30cc, 50cc, 70cc
गोंद के वजन की सटीकता
10mg±3%, 5mg±5%
वजन मॉड्यूल की सटीकता
220 ग्राम/0.1 मिलीग्राम
विजन मॉड्यूल
पिक्सेल
500W (2048×2448dpi)
लेंस
0.2X टेलीसेंट्रिक लेंस
कैमरा दृश्य
35×35 मिमी
एकल पिक्सेल सटीकता
17um
गोंद की चौड़ाई का पता लगाना
≥ 170um
एओआई एफआरआर (गलत आकलन दर)
GS600SU कम भरना डिस्पनिवारण करना मशीन
के लिए Die Form Underfil ll
GS600 SU एक उच्च गति और उच्च परिशुद्धता वाली स्वचालित ऑनलाइन वितरण प्रणाली है जिसे FCBGA/FCCSP की Underfill प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर विकसित किया गया है।
यह प्रणाली उत्पाद और चिपकने वाला तापमान को सख्ती से नियंत्रित करती है और उत्पाद के संचालन अनुक्रम और गोंद भरने के समय को बुद्धिमानी से सॉर्ट करती है।रिक्तियों के उत्पादन को कम करना और परिचालन उपज सुनिश्चित करनाइस बीच, यह अंतरराष्ट्रीय अर्धचालक संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है, और सूचना प्रबंधन आवश्यकताओं से मेल खाता है।
■अनुप्रयोग क्षेत्र
FCBGA पैकेजिंग CUF आवेदन FCCSP पैकेजिंग CUF आवेदन SiP पैकेजिंग CUF आवेदन
■ तकनीकी विनिर्देश
अनुप्रयोग क्षेत्र
एफसीबीजीए, एफसीसीएसपी, एसआईपी
लागू प्रक्रिया
फार्म को अधूरा भरना
स्वच्छता स्तर
कार्यक्षेत्र की स्वच्छता
वर्ग 100 (वर्ग 1000 कार्यशाला)
कक्षा 10 (वर्ग 100 कार्यशाला)
प्रसारण
तंत्र
ट्रांसमिशन सिस्टम
X/Y: रैखिक मोटर Z: सर्वो मोटर और स्क्रू मॉड्यूल
पुनरावृत्ति (3 सिग्मा)
X/Y: ±0.003mm, Z: ±0.005mm
स्थिति की सटीकता (3 सिग्मा)
X/Y: ±0.010mm, Z: ±0.015mm
अधिकतम गति
एक्स/वाईः 1000 मिमी/सेकंड
Z: 500mm/s
अधिकतम त्वरण वेग
X/Y: 1g, Z: 0.5g
ग्रिटिंग रिज़ॉल्यूशन
1 μm
Z अक्ष आंदोलन सीमा ((W× D)
3 5 0 मिमी × 4 7 0 मिमी
Z अक्ष ऊंचाई कैलिब्रेशन और मुआवजा विधि
लेजर सेंसर
लेजर सेंसर की सटीकता
2μm
वितरण प्रणाली
गोंद नियंत्रण की सटीकता
± 3 % / 1mg
सिंगल डॉट पोजीशन रिपीटेबिलिटी CPK>1.0
±25 μm
नोजल का न्यूनतम व्यास
30 μm
एकल बिंदु गोंद का न्यूनतम वजन
0.001mg/dot
अधिकतम तरल पदार्थ चिपचिपाहट
200000 सीपीएस
अधिकतम जेटिंग आवृत्ति
1000Hz
धावक/नोजल हीटिंग तापमान
कमरे का तापमान ~200°C
धावक/नोजल ताप ताप विचलन
± 2 °C
लागू चिपकने वाला पैकेजिंग विनिर्देश
5CC/10CC/30CC/50CC/70CC
सिरिंज की शीतलन सीमा
परिवेश के तापमान से 15 डिग्री सेल्सियस नीचे ठंडा होता है।
पीज़ो कूलिंग रेंज
संपीड़ित वायु स्रोत तापमान तक ठंडा होता है।
ट्रैक प्रणाली
पटरियों की संख्या
2
बेल्ट अनुभागों की संख्या
एक टुकड़ा
अधिकतम ट्रैक ट्रांसमिशन गति
300 मिमी/सेकंड
अधिकतम ट्रैक ट्रांसमिशन वजन
3 किलो
न्यूनतम किनारा रिक्ति
3 मिमी
ट्रैक चौड़ाई समायोजन सीमा
60mm~ 162mm समायोज्य
ट्रैक चौड़ाई समायोजन विधि
मैनुअल
ट्रैक ऊंचाई
910mm~960mm समायोज्य
लागू सब्सट्रेट/वाहक की अधिकतम मोटाई
6 मिमी
लागू सब्सट्रेट/वाहक लंबाई सीमा
60 मिमी-325 मिमी
वैक्यूम सक्शन दबाव रेंज
-50~-80Kpa समायोज्य
निचला ताप ताप सीमा
कमरे का तापमान ~180°C
निचले ताप तापमान का विचलन
≤ ± 1.5 °C
सुविधाएँ
पदचिह्न W× D× H
2380 मिमी*1550 मिमी*2080 मिमी ((लोडिंग और अनलोडिंग और डिस्प्ले शामिल)
2380 मिमी*1200 मिमी*2080 मिमी ((लोडिंग और अनलोडिंग शामिल है, डिस्प्ले को छोड़कर)
वजन
1600 किलो
विद्युत आपूर्ति
200~240VAC,47~63HZ (एकल-चरण वोल्टेज अनुकूलन बिजली की आपूर्ति)
विद्युत धारा
30A
शक्ति
6.4KW
साँस लेना
(0.5Mpa, 450L/min) ×2
FCBGA पैकेजिंग CUF आवेदन
FCCSP पैकेजिंग CUF आवेदन
SiP पैकेजिंग CUF आवेदन
विशेष प्रक्रिया मॉड्यूल
सीयूएफ विशेष पिज़ोइलेक्ट्रिक जेटिंग सिस्टमतापमान के प्रभाव के कारण सिस्टम अस्थिरता से बचने के लिए चिपकने वाला इन्सुलेशन + पिज़ोइलेक्ट्रिक सिरेमिक तापमान बंद-लूप नियंत्रण
ट्रिपल निम्न स्तर की अलार्मगोंद की कमी के कारण खराब संचालन से बचने के लिए कैपेसिटिव डिटेक्शन + चुंबकीय डिटेक्शन + सिस्टम वजन
वैक्यूम एडसॉर्प्शन हीटिंग फिक्स्चरदीपक की पूरी सतह का तापमान अंतर ≤ ±1.5°C है,और तापमान की निगरानी और वास्तविक समय में क्षतिपूर्ति की जाती है ताकि ऑपरेशन के दौरान उत्पाद तापमान में भिन्नता के कारण खराब संचालन से बचा जा सके
नीचे दबाए जाने वाला ट्रैकवैक्यूम अवशोषण उपकरण हमेशा स्थिर रहता है, और वैक्यूम अवशोषण उपकरण के पारस्परिक आंदोलन के दौरान समतलता के नुकसान के कारण खराब संचालन से बचने के लिए ट्रैक ऊपर और नीचे चलता है।
प्लेटफार्म प्रकार लोडिंग और अनलोडिंग सिस्टमखिला अनुक्रम स्वचालित रूप से छँटाई है, और ऑपरेशन प्लाज्मा समय सीमा के भीतर पूरा हो जाता हैअनुकूल मानव-मशीन इंटरफ़ेस डिजाइन
दृश्य प्रणालीपोजिशनिंग और डिटेक्शन फंक्शनदोषपूर्ण आने वाली सामग्रियों से बचने के लिए संचालन से पहले निरीक्षणबैच दोषों को रोकने के लिए संचालन के बाद निरीक्षण
SS200 ढक्कन अनुलग्नक प्रणाली
यह एफसीबीजीए/एफसीसीएसपी की लिड अटैच प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर विकसित एक अत्यधिक स्थिर और सटीक ढक्कन लगाव प्रणाली है।
स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग, डिस्पेंसर, लिड अटैच, स्नैपकेयर और डिस्पेंसर और अटैचमेंट निरीक्षण के कार्यों को एकीकृत करना।प्रणाली स्वचालित रूप से सब्सट्रेट और ढक्कन के स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग सहित कार्यों को महसूस कर सकती है, स्वचालित AD & Tim गोंद कोटिंग, गोंद के आकार का पता लगाने, ढक्कन लगाव और लगाव परिणाम का पता लगाने, और ढक्कन दबाव पकड़ और पूर्व उपचार।यह अंतरराष्ट्रीय अर्धचालक संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है , और स्वचालित उत्पादन लाइनों की प्रासंगिक आवश्यकताओं को पूरा करता है।
पूरी तरह से स्वचालित संचालन प्रणाली की संरचना
लोडिंग मशीन KLM201
GS600SD डिस्पेंसर मशीन
AS1 0 0 माउंटिंग मशीन
MP200 गर्म प्रेसिंग मशीन
KUM2 0 1 अनलोडिंग मशीन
* इस प्रणाली की मशीनें मॉड्यूलर डिजाइन की हैं।
* डिस्पेंसर मशीन का क्रम या मात्रा,
मशीन और गर्म प्रेसिंग मशीन के अनुसार समायोजित किया जा सकता है
प्रक्रिया अनुक्रम और दक्षता अनुपात की आवश्यकताएं।
विशेषताएं और लाभ
उच्च गति संचालन के कारण प्रभाव को प्रभावी ढंग से कम करने के लिए खनिज फ्रेम संरचना के साथ अच्छा झटके अवशोषण।
ईएसडी सुरक्षा अंतर्राष्ट्रीय आईईसी और एएनएसआई मानकों को पूरा करती है।
डिस्पेंसर की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए स्वचालित डिस्पेंसर स्थिति प्रतिपूर्ति कार्य।
पूरी मशीन का मॉड्यूलर डिजाइन, और इंटरपोलेशन/डबल-वाल्व असिनक्रोनिकेशन के साथ डबल वाल्व सिंक्रनाइज़ेशन का समर्थन करने वाला डिस्पेंसर ऑपरेशन।
धूल प्रतिरोधी स्तर 10, उन्नत पैकेजिंग उद्योग की आवश्यकताओं को पूरा करता है।
खराब वितरण के कारण प्रक्रिया जोखिमों से बचने के लिए गोंद चौड़ाई का पता लगाने का कार्य।
प्रत्येक प्रक्रिया चरण के पूरा होने के बाद उत्पाद की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए संबंधित निरीक्षण कार्य।
मल्टीपल मैगजीन के निरंतर संचालन का समर्थन करने के लिए प्लेटफार्म प्रकार की लोडिंग प्रणाली।
SS200 आवेदन क्षेत्र
अनुप्रयोग क्षेत्र
एफसीबीजीए/एफसीसीएसपी लिड अटैक एप्लिकेशन (एडी गोंद, टिम गोंद, लिड अटैक, स्नैपकेयर सहित)
उपयुक्त पीकेजी आकार
5 मिमी × 5 मिमी- 110 मिमी × 110 मिमी
मैक्स. नाव आकार
L × W ≤ 325 मिमी × 162 मिमी
मैक्स. नाव W eight
3 किलोग्राम (उत्पाद वजन सहित)
मैक्स. मैगज़ीन आकार
L × W × H≤ 330 मिमी × 165 मिमी × 180 मिमी
Mx. ढक्कन ट्रे आकार e
L × W≤ 3 1 6 मिमी × 135 मिमी
ढक्कन लोड करने की विधि
पत्रिका, ट्रे लोडिंग (मानक); बेल्ट प्रकार खिला ((वैकल्पिक) ; ट्यूब / नरम ट्रे (अनुकूलित)
SS200 सार्वजनिक सुविधाएं
परिवेश तापमान और आर्द्रता 25°C±5°C, 30 ~ 70%
पदचिह्न W× D× H
5870 मिमी × 1650 मिमी × 2100 मिमी
सिस्टम वजन
5.8T
विद्युत आपूर्ति
200~240VAC,47~63HZ,एकल चरण वोल्टेज अनुकूली बिजली की आपूर्ति
विद्युत धारा
81A
शक्ति
18 किलोवाट
साँस लेना
1770L/मिन
KLM/KUM201 लोडिंग एंड अनलोडिंग मॉड्यूल
KLM/ KUM201लोडर और अनलोडर
आकार
1 2 0 0 मिमी × 6 1 5 मिमी × 2 0 14 मिमी
एफएम सफाई और संगरोध
प्रवेश द्वार पर आयन वायु पर्दा स्नान
नाव Qty.
3 पीसी
लोड करने का तरीका
प्लेटफार्म का प्रकार
पुनरावृत्ति (तीन सिग्मा)
Z/Y: