|
|
| एमओक्यू: | 1 |
| मूल्य: | $1000-$150000 |
| पैकेजिंग विवरण: | लकड़ी का |
| प्रसव का समय: | 5-60 दिन |
| भुगतान की शर्तें: | एल/सी, टी/टी, डी/ए, डी/पी, मनीग्राम, वेस्टर्न यूनियन |
SS101वेफर-स्तर वितरण मशीन
वेफर के रूप में अंडरफिल के लिए
SS101 एक उच्च स्थिर और सटीक वेफर स्तर वितरण प्रणाली है जिसे आरडीएल फर्स्ट डब्ल्यूएलपी की अंडर फिल प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर विकसित किया गया है।
यह उपकरण अर्धचालक उद्योग की जरूरतों को पूरा करता है, एक स्वचालित वेफर लोडिंग और अनलोडिंग प्रणाली के साथ प्रदान किया जा सकता है, और स्वचालित रूप से वेफर हैंडलिंग जैसे कार्यों को महसूस कर सकता है,संरेखणयह अंतरराष्ट्रीय अर्धचालक संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है,और एक एएमएचएस स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग रोबोट इंटरफ़ेस के साथ प्रदान किया जाता है
सूचना प्रबंधन आवश्यकताएं और मानव रहित प्रबंधन के रुझान।
SS101 सिस्टम लेआउट
लोडपोर्ट और फोप
संरेखक
क्यूआर कोड स्कैनिंग स्टेशन
पूर्व ताप स्टेशन
️गर्मी फैलाव स्टेशन
¥GS600SWA डिस्पेंसर मशीन का कार्य स्टेशन ¥GS600SWB डिस्पेंसर मशीन का कार्य स्टेशन
रोबोट हैंडलिंग मॉड्यूल
तकनीकी विनिर्देश
| SS101 प्रणाली | GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 वेफर हैंडलिंग मशीन * 1 (EFEM) | |
| अनुप्रयोग क्षेत्र | आरडीएल पहला डब्ल्यूएलपी, सीयूएफएप्लीकेशन | |
| स्वच्छता स्तर | कार्यक्षेत्र की स्वच्छता |
वर्ग 100 (वर्ग 1000 कार्यशाला) कक्षा 10 (वर्ग 100 कार्यशाला) |
|
उत्पाद अनुप्रयोग क्षेत्र |
वेफर के आकार के लिए समर्थन |
φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm (मानक मॉडल केवल 12-इंच के वेफर्स का समर्थन करता है) |
| वेफर की मोटाई के लिए समर्थन | 300-2550μm | |
| अनुमेय वेफर अधिकतम warpage रेंज | <5 मिमी (रोबोट फिंगर प्रकार के अनुसार) | |
| अधिकतम स्वीकार्य वफ़र वजन | 600 ग्राम (रोबोट फिंगर प्रकार के अनुसार) | |
| वेफर कैसेट | 8 इंच ओपन कैसेट,12 इंच फूप (मानक मॉडल केवल 12 इंच के वेफर्स का समर्थन करता है) | |
|
पीसी१०१ (ईएफईएम) |
लोडिंग और अनलोडिंग विधि | लोडपोर्ट+रोबोट |
| पूर्व संरेखक सटीकता | गोल केंद्र सुधार विचलन≤±0.1 मिमी; कोण सुधार विचलन≤±0.2 ° | |
| वेफर रीडर | एसईएमआई फ़ॉन्ट्स (फ्लैट या कॉनकेव / उत्तल सतहों) का समर्थन करता है, गैर-एसईएमआई फ़ॉन्ट्स | |
| प्रीहीटिंग तापमान रेंज | कमरे का तापमान ~180°C | |
| वेफर ठंडा करने की विधि | प्राकृतिक ठंडा या हवा ठंडा | |
|
गति वितरण प्रणाली |
प्रसारण तंत्र | X/Y: रैखिक मोटर Z: सर्वो मोटर और स्क्रू मॉड्यूल |
| पुनरावृत्ति | एक्स/वाईः ±3μ एमजेडः ±5μ एम | |
| स्थिति की सटीकता | एक्स/वाईः ±10μ मी | |
| अधिकतम गति | X/Y: 1000mm/s Z: 500mm/s | |
| अधिकतम त्वरण वेग | X/Y: 1g Z: 0.5g | |
|
दृष्टि प्रणाली |
कैमरा पिक्सेल | 130W |
| पहचान की सटीकता | ± 1 पिक्सेल | |
| पहचान सीमा | 12 × 16 मिमी < पहचान सीमा < 19.2 × 25.6 मिमी | |
| प्रकाश स्रोत | संयुक्त तीन रंग प्रकाश स्रोत लाल, हरा, सफेद + लाल | |
| वजन के लिए कैलिब्रेशन प्रणाली | वजन की सटीकता | 0.01 मिलीग्राम |
|
चक टेबल लोड ट्रे |
वैक्यूम सतह समतलता विचलन | ≤ 3 0 um |
| हीटिंग तापमान रेंज | कमरे का तापमान ~180°C | |
| ताप ताप विचलन | ≤ ± 1.5 °C | |
| उठाने की ऊंचाई की दोहरावशीलता | ±10 μm | |
| वैक्यूम सक्शन दबाव | -70~-85Kpa सेट करने योग्य | |
|
सुविधाएँ |
पदचिह्न (W*D*H) | 3075×2200×2200 मिमी ((डिस्प्ले खोला गया) |
| वजन | 2.9t | |
| विद्युत आपूर्ति | 200~240VAC,47~63HZ (एकल-चरण वोल्टेज अनुकूलन बिजली की आपूर्ति) | |
| विद्युत धारा | 75A | |
| शक्ति | 16.5KW | |
| साँस लेना | (0.5Mpa, 450L/min) ×5 रास्ता | |
| परिवेश तापमान | 23°C±3°C | |
| कार्य वातावरण की सापेक्ष आर्द्रता | 30 ~ 70% | |
